Aspektverhältnis

Unter Aspektverhältnis versteht man das Höhen-/Breitenverhältnis von Mikrostrukturen. Durch anisotrope Plasmaätzverfahren (⇒ Ionenätzen IE und ⇒ Reaktives Ionenätzen (RIE) lassen sich große Aspektverhältnisse zwischen Grabentiefe und -breite oder Steghöhe und -breite von 10 und mehr erzielen. Extrem große Aspektverhältnisse von 50 und mehr bei Strukturbreiten ab 0,2µm kann man durch das LIGA-Verfahren erzielen.

Zum Lexikon

Anwendungen + Branchen

+49 (0)7458 99931-0

Holen Sie sich Ihren Experten ans Telefon

info@plasma.com

Schreiben Sie uns Ihr Anliegen

Angebot anfordern

Sie wissen genau was Sie wollen