Aspektverhältnis

Unter Aspektverhältnis versteht man das Höhen-/Breitenverhältnis von Mikrostrukturen. Durch anisotrope Plasmaätzverfahren (⇒ Ionenätzen IE und ⇒ Reaktives Ionenätzen (RIE) lassen sich große Aspektverhältnisse zwischen Grabentiefe und -breite oder Steghöhe und -breite von 10 und mehr erzielen. Extrem große Aspektverhältnisse von 50 und mehr bei Strukturbreiten ab 0,2 µm kann man durch das LIGA-Verfahren erzielen.