LIGA

LIGA es una abreviatura alemana de uso internacional, que significa litografía, galvanización y conformado. Este procedimiento se desarrolló hace aproximadamente 30 años en el centro de investigación nuclear de aquella época y resulta apropiado para fabricar estructuras superfinas y componentes micromecánicos. Las distancias estructurales mínimas pueden rondar los 0,2 µm, y las alturas estructurales pueden alcanzar un máximo de varios milímetros. Es posible una relación entre altura y anchura estructural (relación de aspecto) superior a 50. El procedimiento se utiliza, por ejemplo, en el sector de la óptica de precisión o en la fabricación de componentes mecánicos diminutos, como ruedas dentadas para engranajes micromecánicos. Los componentes pueden estar compuestos de diferentes plásticos, metales o cerámicas. Varios pasos del procedimiento LIGA corresponden al procedimiento fotolitográfico empleado en la fabricación de placas de circuito impreso.