LIGA

LIGA è una sigla proveniente in via eccezionale dal tedesco e significa modellatura litogramica galvanica. Il processo fu messo a punto circa 30 anni fa presso l'allora Centro di Ricerca Nucleare ed è indicato per la produzione di finissime strutture e componenti micromeccanici. Le distanze strutturali possono essere come minimo di ca. 0,2 µm, mentre le altezze strutturali possono essere di diversi millimetri. È possibile un rapporto tra altezza e larghezza delle strutture (rapporto dimensionale) superiore a 50. Il processo è impiegato, ad esempio, nell'ottica di precisione o nella fabbricazione di minuscoli componenti meccanici come le ruote dentate per trasmissioni micromeccaniche. I componenti possono essere costituiti da diverse materie plastiche, metalli o ceramiche. Le varie fasi del processo LIGA corrispondono al metodo fotolitografico utilizzato nella produzione di circuiti stampati .