LIGA

LIGA est une abréviation allemande signifiant LIthographie, Galvanik, Abformung, soit lithographie, galvanoplastie, empreinte. Le procédé a été mis au point il y a une trentaine d'années au centre de recherche nucléaire de l'époque et convient à la réalisation de structures extrêmement fines et des composants micro-mécaniques ultra-fins. Les distances entre les structures peuvent être d'au moins 0,2 µm et les hauteur peuvent atteindre plusieurs millimètres. Un rapport hauteur/largeur des structures (rapport d'aspect) supérieur à 50 s'avère possible. Le procédé est utilisé, par exemple, dans l'optique de précision ou dans la fabrication des composants mécaniques miniaturisés tels que les engrenages pour transmissions micro-mécaniques. Les composants peuvent être en diverses matières plastiques, métaux ou céramiques. Diverses séquences de la méthode LIGA correspondent à la méthode photolithographique, que l'on utilise pour la fabrication de circuits imprimés.