KHz-Plasmaanlage

Niederdruck-Plasmaanlage, bei der die Plasmaanregung durch HF-Felder im KHz-Bereich erfolgt. Für technische Zwecke ist die Frequenz 40 KHz freigegeben. Dies ist die niedrigste, in der Plasmatechnik gebräuchliche Frequenz. KHz-Plasmaanlagen sind im Vergleich zu GHz-Anlagen und Mikrowellenanlagen einfach, robust und preisgünstig, aber bei Ätz- und Beschichtungsprozessen ist eine höhere Leistung erforderlich.

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