Килогерцовая плазменная установка

Плазменная установка низкого давления, в которой плазма возбуждается ВЧ-полями в кГц-диапазоне. Для технических целей выделена частота 40 кГц . Это самая низкая частота, используемая в плазменной технике. Плазменные кГц-установки в сравнении с ГГц- и микроволновыми установками отличаются простотой, надежностью и доступной ценой, однако для процессов травления и нанесения покрытий необходима более высокая мощность.