Sistema de plasma en el rango de kHz

Sistema de plasma de baja presión en el que el plasma se excita mediante campos de alta frecuencia en el rango de KHz. Para fines técnicos, se autoriza la frecuencia de 40 kHz. Se trata de la frecuencia más baja de las que se emplean en la tecnología del plasma. Los sistemas de plasma en el rango de kHz son sencillos, robustos y económicos en comparación con los sistemas en el rango de GHz o con los sistemas de microondas, aunque, por otro lado, requieren una mayor potencia en los procesos de grabado y recubrimiento.

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