Impianto al plasma a KHz

Impianto al plasma a bassa pressione, in cui l'eccitazione del plasma avviene per mezzo di campi ad alta frequenza nell'intervallo KHz. A fini tecnici, è abilitata la frequenza di 40 KHz . Si tratta della frequenza più bassa utilizzata comunemente nella tecnologia del plasma. Gli impianti al plasma a KHz sono, rispetto agli impianti a GHz e a microonde, semplici, robusti ed economici, ma si richiedono prestazioni più elevate per i processi di acidatura e di rivestimento.

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