Système plasma KHz

Système plasma basse pression dans lequel le plasma est excité par des champs HF dans la plage des KHz. La fréquence de 40 KHz est autorisée pour des raisons techniques. Il s'agit de la fréquence la plus basse couramment utilisée dans la technologie plasma. Par rapport aux systèmes GHz et micro-ondes, les systèmes plasma KHz sont simples, robustes et peu coûteux, mais nécessitent des performances supérieures pour des processus de gravure et de revêtement.

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