Lexikon der Oberflächentechnik
Elektronegatives Plasma
Häufig enthält ein Plasma einen hohen Anteil von Kationen und freien Elektronen. Ein elektronegatives Plasma enthält annähernd gleich viele Anionen wie Kationen, dafür nur sehr wenige freie Elektronen. Wenn ein Atom oder ein Molekül, Elektronen an sich zieht, spricht man von Elektronegativität.