Глоссарий технологии обработки поверхностей
Электроотрицательная плазма
плазма содержит большую долю катионов и свободных электронов. Электроотрицательная плазма содержит примерно одинаковое количество анионов и катионов, однако лишь небольшое количество свободных электронов.