CDE Chemical Dry Etching

Chemisches Trockenätzen. CDE ist eine gebräuchliche Abkürzung für den chemischen Plasmaätzprozess, der auch als "chemisches Ätzen" oder kurz "Plasmaätzen" bezeichnet wird.

Trockenchemisches Ätzen erfolgt im Plasma durch Reaktion Aktiver Spezies (angeregte Atome, Radikale, Ionen) mit den Substratmolekülen. Das Prozessgas muss auf das Substrat abgestimmt sein (selektiver Ätzvorgang), der Ätzvorgang ist ungerichtet (isotrop).

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