CDE Chemical Dry Etching

(Acidatura chimica a secco). CDE è un'abbreviazione comunemente usata per indicare il processo chimico di acidatura al plasma, noto anche come "acidatura chimica" o in breve "acidatura al plasma”. L’acidatura chimica a secco avviene nel plasma per reazione della specie attiva (atomi eccitati, radicali, ioni) con le molecole del substrato. Il gas di processo deve essere compatibile con il substrato (processo di acidatura selettiva), il processo di acidatura non è orientato (isotropo).