Nettoyage
Dans le secteur industriel, le nettoyage est généralement effectué à l'aide de solvants qui sont efficaces pour la contamination respective, mais qui n'attaquent pas le substrat lui-même. Le nettoyage est souvent effectué dans des bains d'immersion et est également assisté maintes fois mécaniquement. Le nettoyage au plasma, qui ne nécessite pas de produits chimiques humides nocifs pour l'environnement et qui est capable d'éliminer même les impuretés les plus fines dans des espaces et des cavités étroites, prend de plus en plus d'importance.