Pulizia

In ambito industriale, la pulizia si effettua solitamente con solventi efficaci per la rispettiva contaminazione, che non aggrediscono il substrato stesso. La pulizia avviene spesso in bagni ad immersione, in molti casi con supporto di dispositivi meccanici. Assume invece un'importanza crescente la pulizia al plasma, che non richiede una chimica a umido dannosa per l'ambiente ed è in grado di rimuovere le impurità più sottili anche in interstizi e cavità ristrette.