Lexikon der Oberflächentechnik
Plasma Feinstreinigung
Durch Plasmareinigung im O2-Niederdruckplasma können feinste organische Verunreinigungen entfernt werden, auch aus unzugänglichen Spalten und Hohlräumen. Bei der Feinstreinigung wird auch biologische Substanz (Keime) nicht nur abgetötet, sondern auch in gasförmige kurzkettige Bestandteile zerlegt und vollständig entfernt.