Feinstreiniger

Die Anwendung von Plasmaprozessen zur Grobschmutzreinigung bietet sich nicht besonders an, da die Abtraggeschwindigkeit bei Plasmareinigungsverfahren nicht sehr hoch ist. Zur Grobreinigung sind mechanische und nasschemische Reinigungsverfahren zu bevorzugen.

Der große Vorzug der Plasmareinigung ist, dass feinste Verunreinigungen auch an sehr versteckten Stellen ebenso gut zu entfernen sind wie an freien Oberflächen. Die Reinigung im Sauerstoffplasma entfernt auch kleinste Rückstände von Kohlenwasserstoffen (Ölen, Fetten, Wachsen, Trennmitteln) und bewirkt beim Überätzen ggfs. ein geringfügiges Anätzen der obersten Atomlagen, was der Haftfestigkeit von Bedruckungen, Lackierungen und Verklebungen zugute kommt. das selbe gilt für die mikromechanische Feinstreinigung durch Mikrosandstrahlen.