Plasmaanwendungen

Durch Plasmabehandlung ist grundsätzlich jede Art der Oberflächenbehandlung oder -modifizierung denkbar.
Teilweise steht die Plasmabehandlung zu klassischen mechanischen und nasschemischen Behandlungsverfahren in Konkurrenz. In diesen Fällen ist zwar oft die Bearbeitungsgeschwindigkeit (beispielsweise Ätzrate) des klassischen Verfahrens höher, andererseits ist das Plasmaverfahren in der Lage, atomlagengenau zu arbeiten und auch in engsten Spalten und Hohlräumen zu wirken. Ein großer Vorteil der Plasmabehandlung ist auch, dass auf die meist problematische Handhabung giftiger Chemikalien verzichtet werden kann
Teilweise können durch Plasmabehandlung auch Wirkungen erzielt werden, die durch klassische Verfahren nicht realisiert werden können, beispielsweise die anisotrope Ätzung und verschiedene Verfahren der Oberflächenbeschichtung.

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