Glossaire de la technologie de surface

Applications plasma

traitement au plasma permet d'envisager tout type de traitement ou de modification de surface.
Le traitement au plasma est parfois en concurrence avec des procédés classiques de traitement mécanique et chimique par voie humide. Dans ces cas, la vitesse de traitement (par exemple la vitesse de gravure) du procédé classique est souvent plus élevée, mais d'un autre côté, le processus plasma est capable de travailler précisément à la position atomique et d'agir même dans les espaces et cavités les plus étroits. Un autre avantage majeur du traitement au plasma est qu'il permet de renoncer à la manipulation habituellement problématique des produits chimiques toxiques.
Dans certains cas, le traitement au plasma peut également produire des effets qui ne peuvent être obtenus par des méthodes conventionnelles, comme la gravure anisotrope et diverses méthodes de revêtement de surface.

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