Aplicaciones de plasma
tratamiento con plasma permite concebir básicamente cualquier tipo de tratamiento o modificación de superficies.
En parte, el tratamiento con plasma compite contra los procedimientos de tratamiento clásicos, de tipo mecánico o químico en húmedo. Aunque, en estos casos, la velocidad de tratamiento (por ejemplo, la tasa de grabado) suele ser superior en el procedimiento clásico, el tratamiento con plasma es capaz de trabajar con una precisión a nivel de capa atómica e incidir incluso en intersticios y cavidades muy estrechos. Otra de las principales ventajas del tratamiento con plasma consiste en que puede suprimirse la manipulación, normalmente problemática, de productos químicos tóxicos.
El tratamiento con plasma también permite conseguir algunos efectos que no resultan factibles con los procedimientos clásicos: por ejemplo, el grabado anisotrópico y diversos procesos de recubrimiento de superficies.
Ejemplos:
