Применение плазмы
плазменной техники возможны почти любые методы обработки и модификации поверхностей.
В ряде случаев плазменная обработка составляет достойную конкуренцию классическим механическим и жидкостным методам обработки. Скорость обработки (например, травления) может быть выше у классических методов, однако плазменная техника в состоянии работать с атомарной точностью и действовать в самых узких зазорах и полостях. Большое преимущество плазмы состоит в отказе от проблематичного обращения с ядовитыми химикатами
Некоторые плазменные методы позволяют получить эффект, недоступный для классических технологий. Например, это неизотропное травление и различные методы нанесения покрытий на поверхности.
Примеры:
