Anisotrop
Anisotrop bedeutet in verschiedene Raumrichtungen unterschiedlich. Gegensatz isotrop (in alle Raumrichtungen gleich).
Ein Material hat anisotrope Eigenschaften, wenn diese in unterschiedlichen Richtungen unterschiedlich sind, beispielsweise die Steifigkeit oder die Leitfähigkeit.
Die Plasmawirkung kann isotrop oder anisotrop eingestellt sein. Speziell beim Ätzen von Mikrostrukturen wird eine starke Anisotropie angestrebt, d. h. eine starke Vorzugsrichtung der Ätzgeschwindigkeit. Anisotrope Wirkung haben insbesondere physikalische Ätzverfahren (Ionenätzen, RIE = Reactive Ion Etching).
Beim Ätzen von Strukturen mit Ätzmasken wird eine anisotrope Ätzwirkung angestrebt.
Bauteil
Materialabtrag
Substratatom
Ionen
freie Radikale
Ätzprodukt (flüchtig)
