Lexikon der Oberflächentechnik

Ionisation

Prozess, bei dem ein Atom ein Elektron verliert und dadurch zum positiv geladenen Ion wird. 
Bei der Plasmaerzeugung werden die Elektronen eines Atoms so stark angeregt, dass sie die Atomhülle verlassen. Diese Anregung kann durch große Hitze, hohe elektrische Felder (Gasentladung) oder starke Schwingungen in elektromagnetischen Feldern (Hochfrequenzanregung) erfolgen.
Ein Atom kann auch freie Elektronen einfangen und so zum negativ geladenen Ion werden.

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