Ionizzazione

Processo in cui un atomo perde un elettrone e si trasforma in uno ione con carica positiva. 
Nella generazione del plasma, gli elettroni di un atomo vengono eccitati al punto da fuoriuscire dal guscio atomico. Tale eccitazione può essere ottenuta attraverso calore elevato, campi elettrici elevati (scarica di gas) o forti oscillazioni nei campi elettromagnetici (eccitazione ad alta frequenza).
Un atomo può anche captare elettroni liberi e diventare così uno ione con carica negativa.