Glossaire de la technologie de surface

Ionisation

Processus par lequel un atome perd un électron et devient ainsi un ion chargé positivement. 
Lors de la génération du plasma, les électrons d'un atome sont tellement excités qu'ils quittent la couche électronique. Cette excitation peut se produire sous l'effet d'une chaleur élevée, de champs électriques élevés (décharge de gaz) ou de fortes oscillations dans les champs électromagnétiques (excitation à haute fréquence).
Un atome peut aussi capturer des électrons libres et ainsi devenir un ion chargé négativement.

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