Graben
Bezeichnet in der Mikroelektronik eine geätzte Struktur im allgemeinen in einem Dielektrikum, oft SiO2, durch die eine Kontaktierung tieferliegender Schichten erfolgt oder in der durch Metallisierung eine Leiterbahn verlegt wird.
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Bezeichnet in der Mikroelektronik eine geätzte Struktur im allgemeinen in einem Dielektrikum, oft SiO2, durch die eine Kontaktierung tieferliegender Schichten erfolgt oder in der durch Metallisierung eine Leiterbahn verlegt wird.
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