GDOS

Glow Discharge Optical Spectroscopy, also optische Glühentladungs-Spektroskopie, Methode der Oberflächenanalyse an dicken Schichten. In einem Gleichspannungsplasma wird die Probe als Kathode geschaltet und damit nach und nach verdampft. Stöße zwischen den verdampften Teilchen und den Plasmagasatomen (Ar) führen zu charakteristischen Emissionen aus den verdampften Schichtatomen.