GDOS

Glow Discharge Optical Spectroscopy = spectroscopie optique à décharge luminescente : méthode d'analyse de surface de couches épaisses. Dans un plasma à tension continue, l'échantillon est commuté en cathode et ainsi progressivement évaporé. Les impacts entre les particules vaporisées et les atomes de plasma gazeux (Ar) entraînent des émissions caractéristiques des atomes de la couche vaporisée.