Trockenätzverfahren

Es gibt über 10 Verfahren zum Ätzen. Diese fasst man in 4 folgende Hauptgruppen zusammen. Physikalisches Ätzen, Photochemisches Ätzen, Physikalisch-Chemisches Ätzen, Chronisches Ätzen. Beim Trockenätzverfahren wird zum Ätzen eine chemische Reaktion benutzt.