Polytetrafluorethylen (PTFE)-Ätzen

Polytetrafluorethylen (PTFE, Teflon) kann chemisch fast nicht bearbeitet werden, da es nahezu inert gegen Angriffe fast aller Chemikalien ist. Einzige Ausnahmen sind Alkalimetalllösungen, die PTFE-Oberflächen unter Bildung von Alkalifluoriden ätzen. 

Eine ausgezeichnete Alternative ist Plasmabehandlung im Niederdruckplasma mit Wasserstoff als Prozessgas. Dabei reagieren die Wasserstoffradikale mit dem Fluor des PTFE zu Fluorwasserstoff und hinterlassen ungesättigte Kohlenstoffbindungen, die gute Haftstellen für die Anlagerung von Flüssigkeitsmolekülen darstellen.

Das Plasmaätzen führt zu einer guten Klebbarkeit von PTFE, jedoch ist eine gute Prozesssteuerung erforderlich. Die Farbe der PTFE-Oberfläche verwandelt sich beim Ätzprozess von nahezu weiß zu bräunlich.

Beim Plasmaätzen von PTFE kann der problematische Umgang mit den sehr aggressiven Alkalilösungen vermieden werden.

PTFE Ätzen im Niederdruckplasma wird auch als PTFE Aktivieren bezeichnet.

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