Wasserstoff

Zweiatomiges Gas (H₂), das als Prozessgas im Plasma zum Einsatz kommt. Aufgrund der geringen Masse nur schwache Sputter-Wirkung, aber gute Wirkung beim Entfernen reduzierbarer Oberflächen-Schichten, z.B. von Oberflächen-Oxiden auf Metallen. Leichtestes der chemischen Elemente, das aus einem Proton und einem Elektron besteht. Schwerer Wasserstoff (Deuterium) und überschwerer Wasserstoff (Tritium) enthalten im Kern ein bzw. zwei zusätzliche Neutronen.