Dry

In Verbindung mit der Plasmatechnik sagt der Begriff Dry (engl." trocken") aus, dass Oberflächenprozesse trocken stattfinden, die sonst die Verwendung von Nasschemie (Säuren, Laugen, Lösungen, Lösungsmittel) erfordern.

Dry asher (Trockenverascher), dry cleaner (Trockenreiniger), dry etcher (Trockenätzer) und dry oven sind somit Bezeichnungen für Geräte zur trockenen Modifizierung von Materialien mittels Plasmatechnik.

Trockenchemische Verfahren arbeiten zwar oft mit sehr viel geringerer Behandlungsgeschwindigkeit, insbesondere Ätzrate als die Nasschemie, doch andererseits lassen sie sich sehr fein regeln, so dass teilweise Einstellmöglichkeiten in der Größenordnung von Atomlagen möglich sind.

Trockenprozesse haben den Vorteil, dass Vorratshaltung, Handhabung und Entsorgung der ausnahmslos gesundheits- und umweltschädllichen Chemikalien der Nasschemie entfällt und dass nach der Behandlung keine Entfernung der Chemikalien und Trocknung erforderlich ist.

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