Dry

"Seco" en inglés.
En tecnología del plasma, este término expresa que se realizan en seco procesos superficiales que normalmente exigirían el uso de química húmeda (ácidos, álcalis, soluciones, disolventes). Así, se emplean denominaciones como "dry asher" (incinerador en seco), "dry cleaner" (limpiador en seco), "dry etcher" (grabador en seco) y "dry oven" (horno seco) para designar equipos que modifican materiales en seco con tecnología del plasma. Los procesos en seco cuentan con la ventaja de que se suprimen la gestión de existencias, la manipulación y la eliminación de productos químicos nocivos, sin excepción, para la salud y el medio ambiente, además de que, una vez terminado el tratamiento, no es necesario retirar los productos químicos ni dejarlos secar. Aunque los procedimientos químicos en seco suelen desarrollarse a velocidades de tratamiento mucho menores que en la química húmeda, sobre todo en cuanto a la tasa de grabado, pueden regularse con gran precisión, hasta el punto de permitir ajustes en el orden de magnitud de las capas atómicas.

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