Dry

Mot anglais signifiant « sec ».
En rapport avec la technologie plasma , ce terme signifie que les processus de surface utilisant d'habitude des produits chimiques humides (acides, alcalis, solutions, solvants) s'effectuent à sec. Dryasher (ashing à sec), dry cleaner (nettoyage à sec), dryetcher (gravure à sec) et dry oven sont donc des termes utilisés pour les appareils de modification à sec des matériaux utilisant la technologie plasma. Les procédés à sec présentent l'avantage de n'avoir ni à stocker, ni à manipuler, ni à éliminer des produits chimiques humides, qui sont sans exception nocifs pour la santé et l'environnement, et de ne pas nécessiter l'élimination de produits chimiques et de séchage après le traitement. Si les procédés de chimie sèche fonctionnent souvent avec des vitesses de traitement beaucoup plus faibles, en particulier celles de gravure, qu'avec les procédés de chimie humide, ils peuvent être par contre réglés avec beaucoup plus de précision, de sorte que des options de réglage de l'ordre des couches atomiques s'avèrent partiellement possibles.