Dry

Применительно к плазменной технике этот термин обозначает сухое выполнение процессов обработки поверхности, обычно требующих использования жидкой химии (кислот, щелочей, растворителей). Таким образом, dryasher (устройство сухого озоления), drycleaner (сухая сушилка), dryetcher (сухое устройство травления) и dry oven – это обозначения устройств и установок для сухой модификации материалов с использованием плазмы. Преимущество сухих процессов заключается в том, что отпадает необходимость в хранении, использовании и утилизации вредных для здоровья и окружающей среды жидких химикатов, а после обработки не требуется удалять остатки химикатов и выполнять сушку. Сухие методы характеризуются значительно меньшей скоростью обработки, в особенности в сравнении со скоростью жидкостного травления, однако они очень тонко регулируются, что позволяет варьировать результаты вплоть до атомарного уровня.