Anlagenkomponenten
Die Komponenten einer Niederdruck-Plasmaanlage:
1 Steuerung
Für die Niederdruckplasmaanlagen stehen vier verschiedene Steuerungen verfügbar.
Halbautomatisch | Basic-PC | Full-PC
Je nach Kundenanforderung kann immer die passende Bedienmethode ausgewählt werden. Ab Basic-PC-Steuerung ist es möglich intuitiv Prozesse zu erstellen und diese vollautomatisch ablaufen zu lassen. Die Anlage überwacht während des Prozesses alle wichtigen Parameter und regelt nach, beziehungsweise gibt Alarm, wenn nicht nachgeregelt werden kann. Für sehr komplexe Prozesse oder wenn eine ausführliche Prozessdokumentation verlangt wird
ist die Full-PC-Steuerung die richtige Wahl.
2 Vakuumkammer, Warenträger, Elektrode
Vakuumkammer
Bei der Kammer haben Sie erst einmal grundlegend die Wahl des verwedeten Materials:
Borosilikatglas | Quarzglas | Aluminium | Edelstahl
Je nach Material die Kammern in verschiedenen Größen zur Verfügung.
Warenträger
Um Ihre Teile in der Vakuumkammer zu platzieren stehen Ihnen verschiedene Warenträger zur Verfügung:
Quarzglasboot | Sonder-Warenträger nach Ihren Wünschen
Elektrode
Um das Plasma in der Kammer zu zünden, können verschiedene Elektroden verbaut werden
Etagenelektrode | Drehtrommel | RIE-Elektrode | PE-Betrieb | Potentialfrei | Umschaltbare Elektrodenkonfiguration
3 Generator
Damit eine Plasmaanlage funktioniert, bedarf es eines Generators. Welche Frequenz dabei die beste Frequenz für die gewünschte Plasmaanwendung ist, kann nicht allgemein beantwortet werden, sondern muss von Fall zu Fall entschieden werden.
Je nach Prozess und Anwendung, haben Sie die Wahl zwischen verschiedenen Generator Frequenzen:
40….100 kHz | 13,56 MHz | 2,45 GHz
4 Gaszufuhr | Monomerzufuhr
Zur Zufuhr der Gase und Monomere bietet Diener electronic verschiedene Methoden an:
Nadelventil | MFC | LFC | Dosierpumpe | Bubblerflasche
Pumpe
Um das Vakuum in der Kammer aufzubauen, stehen verschiedene Pumpenarten zur Verfügung:
Drehschieberpumpe | Trockenlaufende Pumpen für Korrosivgasprozesse | Wälzkolbenpumpen (Rootspumpen) | Membranpumpe
Die Komponenten einer Atmosphärendruck-Plasmaanlage
1 Hochspannungsgenerator
Die Erzeugung eines Atmosphärendruckplasmas erfolgt durch Coronaentladung bei Hochspannung bis zu 10.000 Volt. Der Hochspannungsgenerator ist in die Versorgungseinheit der Plasmaanlage integriert.
2 Plasmaerzeuger
Im Plasmaerzeuger wird zwischen Hochspannungselektroden eine Coronaentladung gezündet. Das erzeugte Plasma wird über die Plasmadüse ausgeblasen.
3 PC-Steuerung
4 Versorgungsschlauch
Strom- und Luftzuleitungen in flexiblen Schläuchen
