В конструкцию плазменной установки низкого давления входят:
Реципиент или плазменная камера
Реципиент установки Tetra 5200 объемом 5,2 м³
ВЧ-генератор
Генераторы для высокочастотного возбуждения существуют в кило-, мега- и гигагерцовом диапазонах
Вакуумный насос
В самых крупных плазменных установках, например Tetra 12600, для вакуумирования используются несколько высокопроизводительных насосов.
В крупных установках, например Tetra 2800, плазма возбуждается несколькими ВЧ-генераторами, объединенными в комплексный блок с компьютерной системой управления.
Компоненты плазменной установки атмосферного давления
Plasmabeam ПК, плазменная установка атмосферного давления с высоковольтным генератором, компьютерная система управления, генератор плазмы и питающий шланг
