Anisotrope
Anisotrope signifie différent dans différentes directions spatiales. Le contraire est isotrope (identique dans toutes les directions).
Un matériau a des propriétés anisotropes si celles-ci sont différentes dans différentes directions, par exemple la rigidité ou la conductivité. L'effet plasmatique peut être réglé de manière isotrope ou anisotrope. En particulier lors de la gravure de microstructures, une forte anisotropie est recherché, c'est-à-dire une forte direction préférentielle de la vitesse de gravure.
Les processus physiques de gravure en particulier ont un effet anisotrope (gravure ionique, RIE).