Неизотропный

изотропному состоянию (одинаковое во всех направлениях в пространстве).
Материал обладает неизотропными свойствами, если они отличаются в зависимости от направления. Например, это жесткость или электропроводность. Действие плазмы может быть изотропным и неизотропным. В первую очередь при травлении микроструктур стремятся достичь выраженной неизотропности, т.е. значительного преимущественного направления скорости травления.
Неизотропным эффектом обладают физические методы травления (ионное травление, RIE).

вернуться к глоссарию

+49 (0)7458 99931-0

Поговорите с экспертом

info@plasma.com

Напишите нам

Запросить предложение

Вы точно знаете, что ищете