Chambre à chauffage
La chambre peut être chauffée jusqu'à environ 80 °C. La température est réglable. Elle est destinée à des conditions de processus définies et à des vitesses de gravure plus élevées.
Flacon barboteur
Le flacon barboteur fait partie des accessoires de polymérisation et est nécessaire au raccord de monomères liquides à la chambre à vide. À la place de la bouteille de monomère simple, le travail s'effectue avec un gaz porteur. Ce gaz porteur - de l'argon p. ex. - est injecté dans le monomère.
Vanne papillon
Une vanne papillon est utilisée pour régler un débit de gaz et, dans la technologie du vide, notamment, à l'intérieur de la conduite d'aspiration d'une pompe à vide. Pour cela, la résistance à l'écoulement est modifiée dans la conduite par le réglage d’un volet qui peut fermer plus ou moins la conduite.
Réducteur de pression
Le réducteur de pression sert au raccord à la bouteille de gaz - 200 bars Des gaz différents nécessitent des réducteurs de pression différents. C'est ainsi qu'il en existe un pour les gaz rares H2, O2, CF4, C4F8 et un pour NH3.
Installations en continu
Pour l'intégration d'un système plasma basse pression dans une ligne de traitement automatique.
Kit de pièces de rechange standard ou PFPE
Le kit de pièces de rechange contient 1 bague de serrage, 1 joint, 1 tuyau ondulé en acier inoxydable (tuyau à vide), 1 vitre de fenêtre, 1 joint de porte, 10 fusibles de faible intensité pour le système plasma, ainsi qu'un litre d'huile minérale pour la pompe à vide pour l'ensemble standard et 1 litre d'huile PFPE pour la pompe à vide pour l'ensemble PFPE.
Protection ESD
ESD est l'abréviation de electrostatic discharge en anglais. Il s'agit donc d'une décharge électrostatique. De nombreux composants électroniques doivent être protégés contre ces décharges pendant la production. Si un système plasma doit être utilisé pour la production de tels composants, il peut être spécialement équipé pour prévenir la formation de décharges électriques.
Cage Faraday
Pour composants électriques sensibles. Les composants à traiter se trouvent dans la cage de Faraday. Cette dernière peut être retirée de la chambre à vide.
Porte-bouteille de gaz
À fixer sur le plan de travail, des étagères ou des bandes murales. La portée est de 70 mm. La sangle de fixation le sécurise sans jeu. Il convient à toutes les tailles de bouteilles.
Spray de peinture / jeu de plaquettes de verre (test sans LABS)
Option de sécurité supplémentaire lors de l'utilisation de gaz inflammables aux postes de travail. Accessoires pour l'exécution du test de défaut de mouillage de la peinture. Contenu de la livraison : 5 sprays de peinture en boîtes de 400 ml chacune et 100 plaquettes de verre de 90 mm x 110 mm chacune.
Détecteur d'hydrogène
Certains processus plasma utilisent de l'hydrogène en tant que gaz de traitement. Si un défaut technique provoque la fuite involontaire d'hydrogène, ceci peut devenir rapidement dangereux. En s'échappant, l'hydrogène risque de s'enflammer et, dans le pire des cas, de déclencher une explosion. Pour prévenir ce risque, les systèmes plasma avec commande Full PC peuvent être équipés d'un détecteur de gaz. Ce dernier détecte une concentration accrue d'hydrogène dans l'environnement et déclenche une alarme.
Tapis en caoutchouc
Afin de pouvoir utiliser la face supérieure du système plasma comme plateau, il est possible de commander un tapis en caoutchouc. Il protège le système plasma des dommages. De plus, il sert de « tapis antidérapant » pour les pièces à poser sur le système.
Plaques de chauffe
Les pièces à traiter reposent sur la plaque de chauffe, qui peut être chauffée jusqu'à 150 °C au maximum et convient à des conditions de processus définies et à des vitesses de gravure plus élevées. Deux options sont possibles :
Pour équipement avec appareil indicateur de température, un thermocouple est monté à l'intérieur de la chambre à vide afin de pouvoir mesurer la température de surface des composants. Pour équipement avec afficheur de température intégré dans la commande PC, un thermocouple est également monté à l'intérieur de la chambre à vide pour mesurer la température de surface des composants. La température s'affiche ici à l'écran.
Récipient en verre de quartz
Disponible en deux dimensions. Pour les procédés plasma d'ultra haute pureté ou le traitement de wafers.
Aération lente de la chambre à vide
La chambre à vide est ventilée lentement au moyen d'un filtre. Le tourbillonnement de petits composants dans la chambre est évité.
Électrode multi-niveaux.
L'électrode multi-niveaux est disponible pour des chambres à vide rondes et/ou rectangulaires. Plusieurs pièces peuvent être traitées en même temps. Les systèmes plasma standard constituent le champ d'application.Consultez Diener electronic pour la construction précise de votre électrode individuelle ainsi que d'autres matériaux pour la réalisation des supports de pièces.
Testeur d'étanchéité micro-ondes
En raison du rayonnement dangereux, il peut être utile d'installer un testeur de fuites micro-ondes dans les systèmes à micro-ondes.
Bouteille monomère
Accessoires de polymérisation. Pour le raccordement de monomères liquides à la chambre à vide.
OES - Spectromètre d'émission optique
Surveillance du traitement au plasma pour l'assurance qualité. Détection du point final du processus plasma. OES uniquement en liaison avec un système commandé par PC.
Bouteille de gaz de traitement
Bouteille d'oxygène à raccorder en tant que gaz de traitement en 2, 5 et 10 litres, bouteille d'hydrogène de 2 litres, bouteille d'argon de 5 litres. Des conditions de transport particulières doivent être prises en compte lors de l'approvisionnement en gaz. Pour les systèmes de location, la bouteille doit être achetée.
Électrode RIE
Disponible en acier inoxydable rond et rectangulaire, permet d'obtenir des taux de gravure plus élevés. Le domaine d'application est la gravure anisotrope et isotrope
Électrode RIE avec douche de gaz
Rectangulaire en acier inoxydable. Atteint des taux de gravure plus élevés grâce à une distribution plus homogène du gaz.
Le domaine d'application est la gravure anisotrope
Automatisation de robots
Diener electronic offre à ses clients la solution d'automatisation adaptée à chaque processus. Peu importe qu'il s'agisse de nettoyage, d'activation, de gravure ou d'enduction. Tous les processus peuvent être automatisés de manière autonome ou entièrement intégrée. Diener electronic propose aussi bien des systèmes plasma basse pression entièrement automatiques que des systèmes plasma à pression atmosphérique entièrement automatiques. Selon les besoins, on utilise des supports de pièces automatiques, des robots à bras articulés ou des robots à 3 axes.
Pour la mise en œuvre de l'automatisation, nous pouvons nous appuyer sur des partenaires expérimentés qui peuvent également concrétiser des solutions d'automatisation complexes et entièrement intégrées.
Générateur d'oxygène
L'oxygène est généré à partir de l'air ambiant Type Kröber O2. Débit d'oxygène : 3-6 l/min.
Vanne de sécurité
Pour le fonctionnement avec des gaz inflammables tels que l'hydrogène, l'acétylène, etc.
Brides spéciales / brides supplémentaires
Des brides spéciales sont utilisées lorsqu'un nombre de raccords supérieur aux raccords préparés est requis.
Électrodes spéciales et supports de produits
Consultez Diener electronic pour la construction précise de votre électrode individuelle ainsi que d'autres matériaux pour la réalisation des supports de pièces.
Chambres à vide spéciales
Conformément à DIN 12198, une mesure du rayonnement UV a été effectuée sur nos systèmes (regard). Résultat : inoffensif Des chambres à vide spéciales sont disponibles en versions ronde avec couvercle, rectangulaire et porte à charnière, elles sont en aluminium et se différencient également par le diamètre d'ouverture et la dimension intérieure. Contactez-nous.
Électrode standard ronde ou rectangulaire
En tôle d'acier inoxydable/aluminium pour des procédés plasma standard
Porte-échantillons MET
Dispositif spécial pour l'introduction dans la chambre à plasma à partir de l'extérieur. Toutes les tailles sont possibles. Veuillez nous communiquer les dimensions/dessins de vos pièces.
Affichage numérique de la température
Un thermocouple est monté à l'intérieur de la chambre à vide. Un afficheur séparé indique la température dans la chambre à vide.
Affichage de la température de la chambre sans plaque de chauffe. La température de surface du composant peut ainsi être mesurée. L'affichage de la température est également disponible en version intégrée dans la commande du PC. Ici, la température est affichée à l'écran.
Unité d'affichage de la température intégrée dans le système de commande du PC
Un thermocouple est monté à l'intérieur de la chambre à vide.
La température dans la chambre est directement affichée sur le système de commande de l'installation.
Pompes à vide sèches pour systèmes plasma avec gaz corrosifs
Des pompes fonctionnant à sec peuvent être également utilisées pour des traitements avec gaz corrosifs. Cependant, ces pompes doivent être alors spécialement conçues pour tenir tête à cette haute sollicitation. Elles peuvent également faire face aux particules, à la condensation ou aux sous-produits de la corrosion. L'avantage des pompes fonctionnant à sec est leur consommation optimisée des ressources d'exploitation. Les pompes ne réclament aucune maintenance préventive. (Vidange d'huile)
Chambres à vide en acier inoxydable
Les chambres à vide en acier inoxydable sont destinées aux procédés plasma standard
Chambres à vide en verre (borosilicate ou quartz)
Les chambres à vide en verre borosilicate sont utilisées pour des procédés plasma de haute pureté. Les chambres à vide en verre de quartz sont destinées aux procédés plasma de très haute pureté.
Dispositif pour le traitement de poudre
La poudre est traitée dans une bouteille de verre en rotation. Pour le remplissage, la bouteille peut être retirée de l'installation.
Sac de lavage
Pour le pré-nettoyage de petites pièces dans la machine à laver. Dimensions : 500 mm x 300 mm.
Machine à laver et sécher
Pour le pré-nettoyage de petites pièces avant le traitement au plasma. Seulement nécessaire pour pièces fortement encrassées. Fabricant : Miele : Type WT 2670 WPM.
Supports de pièces
Les pièces se trouvent dans le système plasma sur les supports de pièces. Ceux-ci sont fabriqués individuellement en fonction du type de pièces et du processus. Souvent, le double du nombre de supports de pièces est également produit pour une installation. Ceci permet d'équiper de nouveaux supports de pièces pendant le processus.
