Обогреваемая камера
Камера может нагреваться до 80 °C. Температура регулируется. Для создания определенных условий процесса и повышения скорости травления.
Барботер
Барботер относится к аксессуарам для полимеризации и используется для подачи жидких мономеров в вакуумную камеру. Вместо простого флакона с мономером в работе используется газ-носитель. Газ-носитель, например аргон, пропускается через мономер.
Дроссельный клапан
Дроссельный клапан используется для регулирования потока газа в вакуумной технике, в первую очередь – во всасывающей линии вакуумного насоса. Регулирование осуществляется за счет изменения сопротивления потоку в линии при перестановке заслонки, закрывающей линию в большей или меньшей степени.
Редуктор давления
Редуктор давления для подключения к газовому баллону – 200 бар. Разные газы требуют разных редукторов давления. Существует отдельный редуктор для благородных газов H2, O2, CF4, C4F8, а другой редуктор – для NH3.
Проходные установки
Для интеграции плазменной установки низкого давления в автоматическую обрабатывающую линию.
Комплект запчастей – стандартных или PFPE
Комплект запчастей включает в себя 1 зажимное кольцо, 1 уплотнение, 1 стальной рукав (вакуумный шланг), 1 оконное стекло, 1 уплотнение двери, 10 слаботочных предохранителей для плазменной установки. В стандартный комплект входит 1 литр минерального масла для вакуумного насоса, в PFPE-комплекте это 1 литр масла на основе PFPE.
Защита от ESD
ESD – это английское сокращение для electrostatic discharge. Так называемый электростатический разряд. Многие электронные компоненты требуют защиты от такого разряда в процессе производства. Если плазменная установка должна использоваться в изготовлении таких компонентов, она оснащается средствами предотвращения накапливания электростатических зарядов.
Камера / клетка Фарадея
Для компонентов, чувствительных к электрическому полю. Обрабатываемые детали находятся в клетке Фарадея. Ее можно извлечь из вакуумной камеры.
Держатель газового баллона
Закрепляется на рабочем месте, стеллажах или полках. Раствор зажима составляет 70 мм. Зажимный ремень фиксирует баллон без зазора. Держатель подходит для баллонов всех размеров.
Аэрозольный лак / комплект стеклянных пластин (тест на отсутствие субстанций, препятствующих смачиванию)
Дополнительный инструмент безопасности при использовании воспламеняющихся газов на рабочих местах. Аксессуар для проведения теста, на отсутствие субстанций, препятствующих смачиванию краской. Комплект поставки: аэрозольный лак в банках, 5 шт. по 400 мл, и 100 стеклянных пластин 90 мм х 110 мм.
Детектор водорода
В некоторых процессах используется водород в качестве технологического газа. Утечка водорода из-за технической неисправности может создать опасную ситуацию. Выходящий водород может воспламениться и даже стать причиной взрыва. Для предотвращения этой опасности плазменные установки с полностью компьютеризированным управлением могут оснащаться газовым детектором. Он распознает повышенную концентрацию водорода в окружении и предупреждает об этом аварийным сигналом.
Резиновый коврик
Для использования верхней стороны установки в качестве поверхности для укладывания предметов можно заказать резиновый коврик. Он защитит плазменную установку от повреждений. Также он не допустит соскальзывания укладываемых деталей с установки.
Нагревательные пластины
Нагревательная пластина для размещения деталей. Может нагреваться до макс. 150 °C и служит для создания определенных условий процесса и повышения скорости травления. Существуют две опции:
при оснащении температурным индикатором в вакуумной камере размещается термодатчик для измерения температуры поверхности деталей. В сочетании с интегрированной функцией индикации температуры компьютеризированной системы управления в вакуумной камере тоже монтируется термодатчик. Температура выводится на экран системы управления.
Лодочка из кварцевого стекла
Предлагается в двух размерах. Для плазменных процессов сверхвысокой чистоты и обработки полупроводниковых пластин.
Медленная подача воздуха в вакуумную камеру
С помощью фильтра осуществляется медленная подача воздуха в вакуумную камеру. Предотвращается поднятие в воздух мелких деталей в камере.
Многоярусный электрод
Многоярусный электрод предлагается для круглых и/или прямоугольных вакуумных камер. Обеспечивается обработка сразу нескольких деталей. Область применения – стандартные плазменные процессы. Для обсуждения точной конструкции электродов и согласования материалов для изготовления носителей свяжитесь со специалистами Diener electronic.
Тестер микроволновых утечек
Ввиду опасности излучения при эксплуатации микроволновых установок целесообразно монтировать тестер микроволновых утечек.
ОЭС – оптический эмиссионный спектрометр
Для контроля качества плазменного процесса. Фиксирует окончание процесса плазменной обработки. ОЭС доступен только для установок с компьютеризированным управлением.
Баллон для технологического газа
Баллон для кислорода в качестве технологического газа, на 2, 5 и 10 литров; баллон для водорода на 2 литра, баллон для аргона на 5 литров. При поставке газов должны соблюдаться специальные условия транспортировки. При аренде установок баллон необходимо покупать.
Электрод RIE
Круглой или четырехугольной формы, из высококачественной стали. Позволяет увеличивать скорость травления. Области применения – неизотропное и изотропное травление.
Электрод RIE с газовым душем
Прямоугольной формы, из высококачественной стали. Повышает скорость травления за счет однородного распределения газа.
Область применения – неизотропное травление.
Роботизированная автоматизация
Diener electronic предлагает своим клиентам решения по автоматизации любого процесса. Это может быть очистка, активация, травление и нанесение покрытий. Все процессы могут быть автоматизированы автономно или с полной интеграцией. При этом компания Diener electronic предлагает полностью автоматические установки – низкого давления и атмосферного давления. В зависимости от требований применяются автоматические носители материала, роботы с сочлененной рукой и 3-осевые роботы.
При внедрении средств автоматизации мы сотрудничаем с опытными производителями, располагающими комплексными, полностью интегрированными решениями.
Генератор кислорода
Кислород выделяется из окружающего воздуха. Модель Kröber O2. Производительность: 3-6 л/мин.
Специальные / дополнительные фланцы
Специальные фланцы используются при необходимости в дополнительных присоединениях.
Специальные электроды и носители материала
Для обсуждения точной конструкции электродов и согласования материалов для изготовления носителей свяжитесь со специалистами Diener electronic.
Специальные вакуумные камеры
В соответствии с DIN 12198 на наших установках (смотровое стекло) было проведено измерение интенсивности УФ-излучения. Результат: безопасный уровень Специальные вакуумные камеры предлагаются в круглом исполнении с крышкой, а также прямоугольной формы с дверцей на шарнирах. Они изготавливаются из алюминия и, кроме прочего, отличаются друг от друга диаметром отверстия и внутренними размерами. Свяжитесь с нами для консультации.
Стандартный электрод, круглый или прямоугольный
Из высококачественной стали/листового алюминия для стандартных плазменных процессов.
Держатель пробы TEM
Специальное устройство для ввода снаружи в плазменную камеру. Возможен любой размер. Предоставьте нам размерные данные/чертежи обрабатываемых деталей.
Цифровой температурный индикатор
Внутривакуумной камеры монтируется термодатчик. На внешнем дисплее отображается температура в вакуумной камере.
Температурный индикатор в камере без нагревательной пластины. Обеспечивается измерение температуры на поверхности детали. Индикация температуры также интегрируется в компьютеризированную систему управления. В этом случае температура выводится на экран.
Температурный индикатор, встроенный в компьютеризированную систему управления
Внутри вакуумной камеры монтируется термодатчик.
Температура в камере отображается непосредственно в системе управления установкой.
Вакуумные насосы сухого хода для плазменных процессов с коррозионными газами
В процессах с коррозионными газами могут применяться насосы сухого хода. Но они должны быть специально рассчитаны на такие высокие нагрузки. Они справляются даже со средами, содержащими частицы, конденсат и побочные продукты коррозии. Преимущество насосов сухого хода заключается в оптимизированном расходе эксплуатационных средств. Насосы не требуют профилактического технического обслуживания. (Замена масла)
Вакуумные камеры из высококачественной стали
Вакуумные камеры из высококачественной стали предназначены для стандартных плазменных процессов.
Вакуумные камеры из стекла (боросиликатного или кварцевого)
Вакуумные камеры из боросиликатного стекла предназначены для плазменных процессов высокой чистоты. Вакуумные камеры из кварцевого стекла предназначены для плазменных процессов сверхвысокой чистоты.
Устройство для обработки порошка
Порошок обрабатывается во вращающемся стеклянном флаконе. Для заполнения флакон можно извлечь из установки.
Моечная машина с сушкой
Для первичной очистки малых деталей перед плазменной обработкой. Необходимо только для сильно загрязненных деталей. Изготовитель: Miele: WT 2670 WPM.
Носители материала
На так называемых носителях материала размещаются детали в плазменной установке. Носители изготавливаются индивидуально в соответствии с типом деталей и процессом. Зачастую для одной установки изготавливается двойное количество носителей. Это позволяет еще во время процесса загружать деталями новые носители материала.
