Válvula de 2/2 vías para la dosificación de líquidos
Válvula destinada a la dosificación precisa de monómeros.
Cámara térmica
La cámara puede calentarse hasta aprox. 80 °C. La temperatura es regulable. Resulta adecuada para condiciones del proceso definidas y tasas de grabado elevadas.
Frasco de burbujeo
El frasco de burbujeo, perteneciente a los accesorios de polimerización, se necesita para conectar monómeros líquidos a la cámara de vacío. En lugar del frasco de monómero simple, se trabaja con un gas portador. Dicho gas portador, p. ej., argón, se purga con el monómero.
Válvula de mariposa
Se utiliza una válvula de mariposa para regular el caudal de gas en la tecnología de vacío, sobre todo, dentro del conducto de aspiración de una bomba de vacío. Para ello, se modifica la resistencia al flujo del conducto ajustando una tapa, que puede cerrar el conducto en mayor o menor medida.
Reductor de presión
El reductor de presión se conecta a la bombona de gas, que se ajusta a 200 bar. Diferentes gases requieren distintos reductores de presión. Así, existen las siguientes variantes: gases nobles, H2, O2, CF4, C4F8 y NH3.
Sistemas de paso continuo
Para integrar un sistema de plasma de baja presión en una línea de producción automática.
Juego de repuestos estándar o PFPE
Cada juego de repuestos contiene 1 anillo tensor, 1 junta, 1 tubo corrugado de acero inoxidable (tubo de vacío), 1 vidrio de ventana, 1 junta de puerta y 10 fusibles miniatura para el sistema de plasma; aparte, el juego estándar incluye 1 litro de aceite mineral para la bomba de vacío, y el juego PFPE, 1 litro de aceite de PFPE para la bomba de vacío.
Protección ESD
ESD es la abreviatura inglesa para electrostatic discharge (descarga electrostática). Muchos componentes electrónicos deben protegerse de estas descargas durante la fabricación. Si debe utilizarse un sistema de plasma para fabricar tales componentes, puede equiparse de manera especial para evitar que surjan descargas eléctricas.
Jaula de Faraday
Para componentes sensibles a la electricidad. Los componentes para tratar se colocan en la jaula de Faraday, que puede extraerse de la cámara de vacío.
Soporte de bombona de gas
Para fijar a la mesa de trabajo, a estanterías o a barras de pared. Tiene una envergadura de 70 mm. La correa de sujeción asegura el soporte sin permitirle holgura. Resulta adecuado para todos los tamaños de bombona.
Pintura de spray/juego de placas de vidrio (equipo para prueba de PWIS)
Opción de seguridad adicional para el uso de gases inflamables en puestos de trabajo. Accesorios para llevar a cabo la prueba de afectación a la humectabilidad de la pintura. Volumen de suministro: 5 latas de pintura de spray de 400 ml cada una y 100 placas de vidrio de 90 mm × 110 mm cada una.
Detector de gas de hidrógeno
Para algunos procesos con plasma, se necesita hidrógeno como gas del proceso. Si se produce un escape de hidrógeno no deseado por culpa de algún defecto técnico, enseguida se desata un peligro. El hidrógeno emitido puede inflamarse y, en el peor de los casos, desencadenar una explosión. Para prevenir este peligro, los sistemas de plasma con control por Full PC pueden dotarse de un detector de gas, que, cuando reconoce una elevada concentración de hidrógeno en el ambiente, hace sonar una alarma.
Alfombra de goma
Para poder aprovechar la cara superior del sistema de plasma como superficie de apoyo, puede solicitarse también una alfombra de goma. Sirve para proteger el sistema de plasma contra posibles daños. Además, ejerce de "alfombra antideslizante" para las piezas que deban colocarse en el sistema.
Placas calefactoras
Las piezas para tratar se colocan en la placa calefactora, que puede calentarse hasta máx. 150 °C y resulta adecuada para condiciones del proceso definidas y tasas de grabado elevadas. Existen dos opciones:
Si está equipado con un dispositivo indicador de temperatura, se incorpora un sensor térmico en el interior de la cámara de vacío para poder medir la temperatura en la superficie del componente. Si está equipado con un indicador de temperatura integrado en el control por PC, también se incorpora un sensor térmico en el interior de la cámara de vacío y se mide con él la temperatura en la superficie del componente. En tal caso, la temperatura se muestra en la pantalla.
Bote de vidrio de cuarzo
Disponible en dos tamaños. Para procesos con plasma de extremada pureza o para el tratamiento de obleas.
Ventilación lenta de la cámara de vacío
La cámara de vacío se ventila lentamente por medio de un filtro. Así, se impide que se formen remolinos de pequeños componentes alrededor de la cámara.
Electrodo de varios pisos
El electrodo de varios pisos puede suministrarse para cámaras de vacío circulares o rectangulares. Es posible tratar varias piezas de una vez. El ámbito de actuación se halla en los procesos con plasma estándar. Póngase en contacto con Diener electronic para determinar el diseño exacto de su electrodo, así como otros materiales necesarios para fabricar los soportes de mercancías.
Detector de fugas de microondas
A causa de la radiación peligrosa, puede resultar útil incorporar un detector de fugas de microondas en los sistemas de microondas.
Frasco de monómero
Accesorios para polimerización. Para conectar monómeros líquidos a la cámara de vacío.
OES: espectrómetro de emisión óptica
Vigilancia del proceso con plasma para el control de calidad. Detección del punto final del proceso con plasma. OES solamente en combinación con un sistema con control por PC.
Bombona de gas del proceso
Bombona de oxígeno para conexión como gas del proceso en versiones de 2, 5 y 10 litros; bombona de hidrógeno con capacidad de 2 litros; bombona de argón con capacidad de 5 litros. Para el suministro de gases, deben tenerse en cuenta condiciones de transporte especiales. En el caso de los sistemas alquilados, debe comprarse la bombona.
Electrodo RIE
Está compuesto de acero inoxidable y puede ser circular y rectangular. Consigue tasas de grabado elevadas. Su ámbito de aplicación radica en el grabado anisotrópico e isotrópico.
Electrodo RIE con ducha de gas
Tiene forma rectangular y está hecho de acero inoxidable. Consigue tasas de grabado elevadas gracias a una distribución más homogénea del gas.
Su ámbito de actuación se encuentra en el grabado anisotrópico.
Automatización por robot
Diener electronic ofrece a sus clientes la solución de automatización adecuada para cada proceso, ya se trate de limpieza, activación, grabado o recubrimiento. Todos los procesos pueden automatizarse de forma autónoma o totalmente integrada. En este sentido, Diener electronic ofrece tanto sistemas de plasma de baja presión totalmente automáticos como sistemas de plasma de presión atmosférica totalmente automáticos. En función de los requisitos, se utilizan soportes de mercancías automáticos, robots de brazo articulado o robots de 3 ejes.
Para implantar la automatización, contamos con colaboradores experimentados, capaces de aplicar soluciones de automatización complejas y totalmente integradas.
Generador de oxígeno
El oxígeno se toma del aire ambiente. Modelo: Kröber O2. Rendimiento del oxígeno: 3-6 l/min.
Válvula de seguridad
Para el funcionamiento con gases combustibles, como, p. ej., hidrógeno, acetileno, etc.
Bridas especiales/adicionales
Se emplean bridas especiales cuando se necesitan más conexiones de las preparadas.
Electrodos especiales y soportes de mercancías
Póngase en contacto con Diener electronic para determinar el diseño exacto de su electrodo, así como otros materiales necesarios para fabricar los soportes de mercancías.
Cámaras de vacío especiales
De acuerdo con la norma DIN 12198, se efectuó una medición de la intensidad de radiación UV en nuestros sistemas (mirilla). Resultado: inocuos. Se ofrecen cámaras de vacío especiales, compuestas de aluminio, en las siguientes versiones: circular con tapa y rectangular con puerta y bisagra. También pueden seleccionarse con diferentes diámetros de abertura y dimensiones interiores. Diríjase a nosotros para obtener más información.
Electrodo estándar, circular o rectangular
De chapa de acero inoxidable o aluminio, para procesos con plasma estándar.
Portamuestras de microscopio electrónico de transmisión
Dispositivo especial para su introducción en la cámara de plasma desde el exterior. Puede fabricarse en cualquier tamaño. Comuníquenos las dimensiones de sus piezas o suminístrenos ilustraciones técnicas.
Dispositivo digital indicador de temperatura
Dentro de la cámara de vacío, está alojado un sensor térmico. En una pantalla aparte, se muestra la temperatura de la cámara de vacío.
Dispositivo indicador de temperatura de la cámara sin placa calefactora. Permite medir la temperatura en la superficie del componente. La indicación de temperatura también puede ir integrada en el control por PC. En tal caso, la temperatura se muestra en la pantalla.
Indicador de temperatura integrado en el control por PC
Dentro de la cámara de vacío, está alojado un sensor térmico.
La temperatura de la cámara se muestra directamente en el control del sistema.
Bombas de vacío de funcionamiento en seco para procesos con plasma con gases corrosivos
Para procesos con gases corrosivos, también pueden utilizarse bombas de funcionamiento en seco. Sin embargo, dichas bombas deben estar especialmente diseñadas para una carga de tal magnitud. También funcionan a la perfección en caso de partículas derivadas o de productos secundarios de condensación y de corrosión. La ventaja de las bombas de funcionamiento en seco radica en el consumo optimizado de recursos operativos. Las bombas no necesitan mantenimiento preventivo (cambio de aceite).
Cámaras de vacío de acero inoxidable
Las cámaras de vacío de acero inoxidable se emplean en procesos con plasma estándar.
Cámaras de vacío de vidrio (borosilicato o cuarzo)
Las cámaras de vacío de vidrio de borosilicato sirven para procesos con plasma de alta pureza. Las cámaras de vacío de vidrio de cuarzo sirven para procesos con plasma de extremada pureza.
Dispositivo para tratar sustancias en polvo
Las sustancias en polvo se tratan en una botella de vidrio giratoria. Es posible extraer la botella del sistema para llenarla.
Bolsa de lavado
Para la limpieza previa de piezas pequeñas en la lavadora. Dimensiones: 500 mm × 300 mm.
Lavadora/secadora
Para la limpieza inicial de piezas pequeñas antes del tratamiento con plasma. Solo se necesita en caso de piezas con suciedad severa. Fabricante: Miele, modelo: WT 2670 WPM.
Soporte de mercancías
En los denominados soportes de mercancías, se encuentran las piezas del sistema de plasma. Dichos soportes se fabrican de forma individual en función de las piezas y del proceso. A menudo, también se fabrica el doble de soportes de mercancías para un sistema, lo que permite llenar de piezas nuevos soportes de mercancías durante el proceso.
