Plasmachemie

Nur wenige chemische Reaktionen erfolgen spontan, also durch bloßes Vermischen der Reaktionspartner. Wesentlich häufiger ist eine Energiezufuhr erforderlich, als Aktivierungsenergie selbst dann, wenn die Reaktion "exotherm" ist, d.h., wenn bei der Reaktion insgesamt Energie frei wird. Die Energiezufuhr erfolgt im Allgemeinen durch Temperaturerhöhung. In allen vorgenannten Fällen ist die chemische Reaktion also mit einer meist erheblichen Temperaturerhöhung verbunden. Das ist problematisch, wenn die chemische Reaktion auf einem temperaturempfindlichen Substrat stattfinden soll.

Im Niederdruckplasma erfolgt die Anregung ohne oder mit sehr geringer Temperaturerhöhung. Bei HF-Anregung bleiben Ionen, Radikale und angeregte Atome weitgehend kalt (siehe auch ⇒ kaltes Plasma), sind aber hoch reaktiv, d.h. reagieren spontan mit anderen Teilchen zu neuen Verbindungen. Ein großer Vorteil der Plasmachemie ist daher, dass temperaturempfindliche Substrate nicht belastet werden.