Chambre à vide

Récipient étanche aux gaz et résistant à la pression, évacué par une pompe à vide dans laquelle le gaz résiduel est sous basse pression. Les gaz résiduels peuvent être des résidus d'air dus à un taux de fuite inévitable ou encore des gaz introduits par des vannes de dosage aux propriétés les plus variées. De nombreuses substances liquides dans des conditions atmosphériques normales peuvent devenir également gazeuses à très basses pressions et être présentes sous forme de gaz dans la chambre à vide. Dans les chambres à vide, les réactions chimiques et physiques les plus diverses peuvent être effectuées, telles que procédés CVD, PVD, dépôt en phase vapeur, pulvérisation et tous les procédés plasma basse pression (⇒ chambre plasma).

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