Вакуумная камера

вакуумного насоса газонепроницаемый и прочный на давление резервуар, в котором остаточный газ находится под низким давлением. Остаточным газом могут быть следы воздуха из-за микроутечек или газы, поступившие через дозировочные клапаны. Также многие субстанции, находящиеся в жидком состоянии при нормальных атмосферных условиях, при низком давлении могут переходить в газообразное состояние. В вакуумных камерах могут осуществляться самые разнообразные химические и физические реакции, связанные с CVD-, PVD-методами, нанесением покрытия испарением, ионно-плазменным распылением и всеми процессами плазмы низкого давления(⇒ Плазменная камера).