Vakuumkammer

Durch eine Vakuumpumpe evakuierter gasdichter und druckfester Behälter, in dem sich Restgas unter geringem Druck befindet. Das Restgas können Luftreste auf Grund einer unvermeidlicher Leckrate oder auch über Dosierventile eingeleitete Gase unterschiedlichster Eigenschaft sein. Auch viele Substanzen, die unter normalen Atmosphärenbedingungen flüssig sind, können unter den sehr geringen Drücken gasförmig sein und als Gase in der Vakuumkammer vorliegen.

In Vakuumkammern können verschiedenste chemische und physikalische Reaktionen durchgeführt werden wie CVD-, PVD-Verfahren, Bedampfen, Sputtern und alle Niederdruck-Plasma-Prozesse (⇒ Plasmakammer).

Unser einzigartiges, flexibles Kammersystem, welches auf Aluminium-Strangpressprofilen basiert kann inividuell von drei Meter auf die gewünschte Länge für das Profil zugeschnitten und mit einer geschraubten Rückwand, sowie einer Türe versehen werden. In den Seitenwänden des Profils sind bereits Schlitze vorhanden, in welche die Warenträger einfach eingeschoben werden können.

Desweiteren eröffnen unsere neuen modulare Aluminium-Vakuumkammern Ihnen bisher unbekannte Möglicheiten. Das System besteht aus einzelnen, aus vollem Aluminium gefrästen Modulen mit einer Tiefe von 500mm. Somit kann die Länge der Kammer in 500mm Schritten variabel festgelegt werden.

Wir bieten die Kammern in den Größen 600mm x 600mm, 800mm x 800mm, 1000mm x 1000mm und 1200mm x 1200mm an.