Cámara de vacío

Contenedor estanco al gas y resistente a la presión, evacuado por una bomba de vacío, que contiene gas residual a baja presión. Como gas residual, pueden encontrarse restos de aire, debidos a una inevitable tasa de fugas, o también gases introducidos por válvulas dosificadoras, de características muy dispares. Asimismo, numerosas sustancias que se hallan en estado líquido en condiciones atmosféricas normales pueden volverse gaseosas a presiones muy reducidas y figurar de este modo en la cámara de vacío. En las cámaras de vacío, pueden llevarse a cabo reacciones químicas y físicas bien diversas, como procedimientos CVD y PVD, deposición de vapor, sputtering y cualquier proceso con plasma de baja presión (⇒ Cámara de plasma).