Camera da vuoto

Contenitore a tenuta di gas e resistente alla pressione, evacuato da una pompa per vuoto in cui il gas residuo è a bassa pressione. Il gas residuo può essere costituito da residui d'aria per l’inevitabile tasso di perdita o anche da gas con proprietà diverse, introdotti tramite valvole di dosaggio. Anche molte sostanze liquide in normali condizioni atmosferiche possono essere gassose a pressioni molto basse ed essere presenti sotto forma di gas nella camera da vuoto. Nelle camere da vuoto sono possibili varie reazioni chimiche e fisiche come il processo CVD, il processo PVD, la vaporizzazione, lo sputtering e tutti i processi di plasma a bassa pressione (⇒ Camera del plasma).

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