Микросистемная техника

LIGA). Методы плазменной техники находят разнообразное применение в микросистемной технике: очистка поверхностей перед нанесением покрытий, ионно-плазменное распыление, нанесение покрытия испарением, приварка, травление с использованием фоторезистов, глубокое травление в полупроводниках , нанесение защитных покрытий (гидрофобных, антиокислительных) на готовые структуры.