Technologie des microsystèmes

Technologie pour la fabrication de microsystèmes, de composants mécaniques ou optiques à l'échelle microscopique, souvent combinés en unités, en particulier avec des systèmes microélectroniques. Exemples : microcapteurs, micro-chauffages. Des structures de la technologie des microsystèmes sont fréquemment créées à l'aide de méthodes de travail microélectroniques, par exemple l'installation de bobines chauffantes telles que des pistes conductrices ou la gravure de composants mécaniques à l'aide des méthodes de structuration de semi-conducteurs (voir LIGA). La technologie plasma peut être utilisée de plusieurs façons dans la technologie des microsystèmes : nettoyage de surfaces avant enduction, pulvérisation, dépôt en phase vapeur, bonding, gravure de photoréserves, gravure en profondeur des pistes métalliques dans des semi-conducteurs, revêtement protecteur (hydrophobe, antioxydant) de structures finies.